640242-533806

FZ300 – Næste generation Ultrarene siliciumskiver til den grønne omstilling

2024

Topsil er en af fem producenter i verden, der kan fremstille 200 mm ultrarene siliciumskiver til effektelektronik. Projektets mål er at bygge en maskine til produktion af ultrarene 300 mm siliciumkrystaller for at hæve industristandarden til 300 mm, øge produktionseffektiviteten, understøtte grøn teknologi og sikre forsyningen til Europas energisektor.

En overgang fra 200 til 300 mm waferdiameter giver en markant stigning i produktionseffektiviteten, som vil føre til mange gavnlige afledte effekter for den grønne omstilling, både som enabler for andre grønne teknologier og i form af bedre økonomi med lavere emissioner, samt forbedring af forsyningssikkerheden for energisektoren i Europa. Projektet vil etablere et betydeligt dansk/europæisk forspring inden for den strategisk vigtige produktion af halvlederkrystaller til effektelektronikindustrien.

De specifikke mål for FZ300-projektet er at bygge en R&D krystalvækstmaskine, der er i stand til at producere en ultraren Float-Zone siliciumkrystal med en diameter på 300 mm, og at demonstrere fremstillingsprocessen af ​​den første Float-Zone siliciumkrystal med en diameter på 300 mm. Dette vil blive opnået gennem virksomhedens unikke knowhow fra 6 årtiers erfaring i at designe tidligere maskingenerationer kombineret med processimulering i verdensklasse på DTU.

Når først den tekniske gennemførlighed er påvist, er risikoen i fremtidige investeringer blevet tilstrækkeligt reduceret til, at Topsil kan gå videre med en større vision om at bygge en ny fabrik i Frederikssund til fremstilling af næste generation af siliciumwafers til effektelektronik.

På grund af opgavens kompleksitet har ingen i verden endnu haft held med at dyrke FZ med en diameter på 300 mm, men med det niveau af computerkraft, der i dag er tilgængeligt til simulering, er det blevet realistisk at overvinde den tærskel.

Udfører/hovedansøger Topsil GlobalWafers A/S
Øvrige samarbejdspartnere Danmarks Tekniske Universitet (DTU)
Projektets samlede budget DKK 97.918.615
Bevillingsstørrelse tildelt DKK 44.198.353